Nebula-LCS5000高精度型面檢測修整設備

　　Nebula-LCS5000高精度型面檢測修整設備

　　● 規格：3000mm×5500mm×600mm

　　● 在位檢測加工一體化設備

　　● 數控研拋模塊+氣浮軸測量模塊雙功能頭設計

　　● 高剛度雙驅龍門移動軸

　　● 高動態大功率直線電機驅動

　　● 檢測精度：

　　（0，Φ1.2m）≤3微米

　　（Φ1.2m，Φ3m）≤5微米

　　（Φ3m，Φ5.5m）≤10微米